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【2h】

Monolithic whispering-gallery mode resonators with vertically coupled integrated bus waveguides

机译：具有垂直耦合的单片式回音壁模式谐振器   集成总线波导

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We report on the realization and optical characterization of aCMOS-compatible silicon-based microresonator/waveguide coupled system, fullyintegrated on a silicon chip. The device uses a vertical coupling schemebetween the resonator and a buried strip waveguide. We demonstrate that itshigh optical quality follows from the accurate planarization of the waveguidetopography. More importantly, we demonstrate a wafer-scale mass fabrication offreestanding planar resonators suspended in air and coupled to the integratedbus waveguides. A nanometer control of the coupling distances allows for aprecise and selective excitation of different mode families of the resonator.This opens the door for the realization of stable all-integrated complexresonator systems for optomechanical and metrological applications, with thepotential to substitute the nowadays intensive use of complicated fiber-tapercoupling schemes.
机译：我们报告完全集成在硅芯片上的CMOS兼容硅基微谐振器/波导耦合系统的实现和光学特性。该设备在谐振器和埋入式条形波导之间使用垂直耦合方案。我们证明了它的高光学质量来自于波导形貌的精确平面化。更重要的是，我们展示了悬浮在空气中并耦合到集成总线波导的独立平面谐振器的晶圆规模批量制造。耦合距离的纳米级控制允许谐振器不同模式族的精确和选择性激励，这为实现稳定的全集成复谐振器系统打开了大门，该系统适用于光机械和计量学应用，有可能取代当今大量使用的谐振器。复杂的光纤-tapercoupling方案。

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